特許
J-GLOBAL ID：200903080195599881
X線分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-202295
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048161
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 簡単な操作でかつ迅速に標準試料による装置校正をなしうるX線分析装置を提供する。【解決手段】 装置校正に際して、演算制御手段10は、不図示の駆動手段を介してシャッター6を移動させ、X線透過窓2aを塞いだ状態でX線が照射されたシャッター6aから生じた蛍光X線をエネルギー分散型検出器5を介して検出する。そして、MCA9から得られた各チャンネルと標準試料6aの既知の元素成分に対応する特性X線のエネルギーとを対応させることで、MCA9の各チャンネルに対するエネルギー変換式を求める。元素分析に際しては、シャッター6を図の状態に移動させ、X線が照射された試料3から生じた蛍光X線をエネルギー分散型検出器5、MCA9を介して検出し、校正時に求めた変換式に基づいて、元素の定性・定量分析を行う。
請求項（抜粋）：
X線が照射された分析用試料から得られるX線を検出し、解析することで前記分析用試料の元素分析を行うX線分析装置において、校正用の標準試料が配設されると共に、前記標準試料にX線が照射される位置で前記分析用試料に照射されるX線を遮蔽するシャッターと、前記分析用試料に照射されるX線を遮蔽した状態で、前記シャッターに配設された標準試料から得られたX線の検出データを用いて校正動作を行う演算手段と、を備えたことを特徴とするX線分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 23/223
, G21K 1/06 T
