光干渉型AEセンサおよびAEセンサユニットおよびAE計測システム

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-143913
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337063
出願日： 2002年05月20日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】 AEセンサのサイズを超小型にし、AE信号の検出は電磁ノイズの影響を受けないようにして、小型から大型物体までのAE解析のAE計測システムを提供する。【解決手段】 MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を用いて作った小型形状からなる光干渉型マイクロセンサを用い、光ファイバと光学部品によるAEセンサユニットにより光信号処理でAE計測システムを構成した。計測光源の波長の選択により被測定物体とAE計測部本体との距離を長く離せるようにした。

請求項（抜粋）：

AE計測システムにおいて、AEセンサに光干渉型マイクロセンサを用いてAEセンサユニットを構成して、光により計測するシステムを構築したことを特徴とするAE計測システム。

IPC (5件)：

G01H 9/00 , B81B 3/00 , B81B 7/00 , G01N 29/14 , G01N 29/24

FI (5件)：

G01H 9/00 C , B81B 3/00 , B81B 7/00 , G01N 29/14 , G01N 29/24

Fターム (16件)：

2G047BA05 , 2G047BC07 , 2G047CA04 , 2G047EA04 , 2G047EA08 , 2G047EA11 , 2G047EA12 , 2G047EA15 , 2G047EA19 , 2G047EA21 , 2G047GD01 , 2G047GF25 , 2G064AB02 , 2G064BA07 , 2G064BC06 , 2G064BC32

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