洗浄用スポンジブラシ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239237
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092780
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】寿命が長く、しかも洗浄効果が優れた洗浄装置に用いるスポンジブラシを提供すること。【解決手段】基板14を洗浄する洗浄装置10で使用される洗浄用スポンジブラシ35において、上記スポンジブラシ35は円柱状に形成されており、この円柱状の上記基板14と接触する接触面の外周端部が面取りされていることを特徴としている。上記構成によると、上記スポンジブラシは円柱状に形成され、この円柱状の上記基板と接触する接触面の外周端部が面取りされているため、上記スポンジブラシの外周端部が基板を係止する係止手段に接触してもこの外周端部に生じるダメージを軽減でき、よってこのスポンジブラシの寿命を延長することが可能となる。

請求項（抜粋）：

基板を洗浄する洗浄装置で使用される洗浄用スポンジブラシにおいて、上記スポンジブラシは円柱状に形成されており、この円柱状の上記基板と接触する接触面の外周端部が面取りされていることを特徴とする洗浄用スポンジブラシ。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , A46B 13/04 , B08B 1/00

FI (3件)：

H01L 21/304 341 B , A46B 13/04 , B08B 1/00

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