特許

J-GLOBAL ID：200903080202150577

基板検出装置

発明者： 南田 幸廣 ,  松森 正史 ,  原口 秀夫 ,  松田 出
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-210701
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064154
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【目的】 基板カセットの移動を停止させずに基板カセット内の基板の有無を検出し、基板検出時間を大幅に短縮する。【構成】 基板5を互いに所定間隔置きに積層状態で収容するようにした基板カセット1内における基板を収容した位置を検出する基板検出装置であって、基板カセット1内の基板5の有無を検出する基板検出センサ8と、基板カセット1内の基板収容位置と同じピッチのスリット7を有するプレート6と、プレート6のスリット7を検出する位置検出センサ9と、基板カセット1とプレート6を基板検出センサ8と位置検出センサ9に対して基板カセット1の基板積層方向に同時に相対移動させるカセット台2とを備える。

請求項（抜粋）：

基板を互いに所定間隔置きに積層状態で収容するようにした基板カセット内における基板を収容した位置を検出する基板検出装置であって、基板カセット内の基板の有無を検出する基板検出センサと、基板カセットの基板収容位置と同じピッチのスリット又は穴を有するプレートと、プレートのスリット又は穴を検出する位置検出センサと、基板カセットとプレートを基板検出センサと位置検出センサに対して基板カセットの基板積層方向に相対移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする基板検出装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  G01V 8/10

FI (2件)：

H01L 21/68 L ,  G01V 9/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-297156
  
• 特開平4-299552
  
• 被移載体の検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-041233   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 特開平3-297156
  
• 特開平4-299552