特許

J-GLOBAL ID：200903080210494293

金属酸化物膜及びその製造方法

発明者： 北岡 賢治
出願人/特許権者： ミノルタ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-259766
公開番号（公開出願番号）：特開平10-102293
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：

【要約】【課題】 緻密で不純物相が極めて少ない、金属酸化物膜の製造方法を提供する。【解決手段】 ゾル-ゲル法によって粉体原料を製造する第1工程と、第1工程により製造された粉体原料を電気泳動により基板上に析出させ、基板上に粉体原料を堆積させる第2工程(図2)と、第2工程により形成された堆積物をさらに加熱処理して金属酸化物膜とする第3工程と、からなる。

請求項（抜粋）：

ゾル-ゲル法によって粉体原料を製造する第1工程と、前記第1工程により製造された粉体原料を電気泳動により基板上に析出させ、基板上に粉体原料を堆積させる第2工程と、前記第2工程により形成された堆積物をさらに加熱処理して金属酸化物膜とする第3工程と、からなることを特徴とする金属酸化物膜の製造方法。