特許

J-GLOBAL ID：200903080210567266

塗布液の乾燥防止方法及びその装置

発明者： 井関 出 ,  高橋 哲
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105379
公開番号（公開出願番号）：特開平9-293659
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 塗布装置を大型化させず、また、塗布液の無駄を可及的に抑制して待機中の塗布ヘッドの供給口の塗布液の乾燥を防止することができるようにする。【解決手段】 塗布ヘッド20の供給口24を外気から遮断することにより供給口24の塗布液の乾燥を防止するものであって、塗布ヘッド20の供給口24と封止部材50とを所定の間隙を設けて対向配置すると共に、その間隙に塗布ヘッド20の供給口24から塗布液を吐出し、その塗布液の乾燥により供給口24を覆う被覆膜を形成する。

請求項（抜粋）：

塗布ヘッドの供給口を外気から遮断することにより塗布液の乾燥を防止する塗布液の乾燥防止方法であって、上記塗布ヘッドの供給口とこの供給口と対向する封止部材との間隙に所定量の塗布液を介在させ、この塗布液の乾燥により上記供給口を覆う被覆膜を形成することを特徴とする塗布液の乾燥防止方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05C 5/02 ,  G03F 7/16 501

FI (4件)：

H01L 21/30 564 D ,  B05C 5/02 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 C