特許

J-GLOBAL ID：200903080224430239

感放射線性樹脂組成物

発明者： 銅木 克次 ,  梶田 徹 ,  下川 努
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328091
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147531
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして、ドライエッチング耐性、感度、解像度等に優れるとともに、露光から露光後の加熱処理までの引き置き時間の変動によるレジストパターンの線幅変動を回避でき、優れたプロセス安定性を示す感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)8-ヒドロキシメチルテトラシクロ[ 4.4.0.12,5 .17,10 ]ドデカ-3-エンに代表されるノルボルネン誘導体と、無水イタコン酸と、下記式(1)または式(2)で表される化合物に代表される(メタ)アクリル酸誘導体との共重合体からなるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)に示す繰返し単位(1-I) 、繰返し単位(1-II) および繰返し単位(1-III) を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、A1 およびB1 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、X1 およびY1 は相互に独立に水素原子、1価の酸素含有極性基または1価の窒素含有極性基を示し、かつX1 とY1 の少なくとも1つは該酸素含有極性基あるいは該窒素含有極性基であり、nは0〜2の整数であり、R1 は水素原子またはメチル基を示し、R2 は下記式【化2】(式中、各R3 は相互に独立に炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を示し、かつR3 の少なくとも1つが該脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは何れか2つのR3 が相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子とともに炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成し、残りのR3 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を示す。)で表される基を示す。〕

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (24件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC07 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BF03 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ01 ,  2H025CB06 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA41