特許
J-GLOBAL ID：200903080249108510
ウエハ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-017715
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213448
出願日： 1995年02月06日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】 複雑な機械的な制御機構を用いることなく、簡単な構造でウエハを傾斜した状態に保持することが可能なウエハ処理装置を提供する。【構成】 ゲート4を通じて搬送アーム5によって搬送されたウエハ6を裏面から水平に保持して上下動可能なウエハ保持部7と、このウエハ保持部7の下方に配置され、ウエハ6がウエハ保持部7によって下降されたときこのウエハ6をウエハ保持部7から離脱させて、裏面から傾斜して載置する傾斜面8が設けられたウエハ載置部9とを有するウエハ処理室3を備えるようにする。
請求項（抜粋）：
ゲートを通じて搬送されたウエハを裏面から水平に保持して上下動可能なウエハ保持部と、このウエハ保持部の下方に配置され、前記ウエハがウエハ保持部によって下降されたときこのウエハをウエハ保持部から離脱させて、裏面から傾斜して載置する傾斜面が設けられたウエハ載置部と、を有するウエハ処理室を備えたことを特徴とするウエハ処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, C30B 25/12
, H01L 21/304 351
