特許

J-GLOBAL ID：200903080258733591

MoW/AlまたはAl合金/MoWの積層薄膜を用いた薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタアレイとその製造方法

発明者： 井上 真弓
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-098663
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299630
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 アモルファスシリコン薄膜トランジスタのソース・ドレイン配線電極としてTi/Al/Ti膜を用いた場合、ドライエッチングによる下地膜へのダメージなどが問題となっていた。【解決手段】 ソース・ドレイン配線電極としてMoW/Al/MoWを用いた場合、ウェットエッチングが可能である。また種々の条件の最適化により、配線電極の断面形状を制御する。電極加工時の下地半導体層へのダメージをなくし、特性劣化を防止する。

請求項（抜粋）：

透光性基板上にゲート配線電極が形成され、その上にゲート絶縁膜と半導体膜と不純物半導体膜が積層されており、その上にMoW層とAlまたはAl合金層とMoW層の3層膜がソース・ドレイン配線電極として形成されていることを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (11件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/3213 ,  H01L 21/336 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/26

FI (15件)：

G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/28 E ,  H01L 21/28 301 L ,  H01L 21/28 301 R ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/26 Z ,  H01L 29/78 616 U ,  H01L 21/306 F ,  H01L 21/88 N ,  H01L 21/88 R ,  H01L 21/88 C ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 616 V ,  H01L 29/78 616 K

Fターム (95件)：

2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JA44 ,  2H092KA18 ,  2H092MA20 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  3K007AB18 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD17 ,  4M104DD64 ,  4M104EE05 ,  4M104EE17 ,  4M104FF03 ,  4M104FF09 ,  4M104FF18 ,  4M104GG04 ,  4M104GG20 ,  4M104HH11 ,  5C094AA42 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA29 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA14 ,  5C094DA15 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EB02 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH22 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ22 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK22 ,  5F033LL09 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR06 ,  5F033VV00 ,  5F033VV15 ,  5F033WW04 ,  5F033XX00 ,  5F043AA27 ,  5F043BB15 ,  5F043BB16 ,  5F043GG03 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110AA28 ,  5F110BB01 ,  5F110BB05 ,  5F110CC07 ,  5F110EE06 ,  5F110FF03 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG45 ,  5F110HK03 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK35 ,  5F110HL07 ,  5F110HM03 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ09