特許
J-GLOBAL ID：200903080259905248
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-241666
公開番号（公開出願番号）：特開平10-089968
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 駆動変位が大きく、回転角速度に対するコリオリ力の検出感度の高い角速度センサを提供する。【解決手段】基板1の中空部1aに、対向して配置された一対の外側支持梁3a、3bを介して支持された外側振動枠体4と、外側振動枠体4の内側4eに、対向して配置された一対の内側支持梁5a、5bを介して支持された内側振動体6とを備え、外側支持梁3a、3bおよび内側支持梁5a、5bは、それらの梁軸を通る垂直面の両側に各層電極が2分割されて圧電体の内部および表裏面に配置された多層電極構造よりなることを特徴とする角速度センサ。
請求項（抜粋）：
基板の中空部に、対向して配置された一対の外側支持梁を介して支持された外側振動枠体と、前記外側振動枠体の内側に、対向して配置された一対の内側支持梁を介して支持された内側振動体とを備え、前記外側支持梁および内側支持梁は、各層電極がそれらの圧電体膜の内部および表裏面であって、それらの梁の中心軸を通る垂直面の両側に分割されて配置された多層電極構造よりなることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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