微細電気機械スイッチ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-082436
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017300
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【課題】ギガヘルツ周波数においてオン状態とオフ状態との間に大きな範囲を有しかつ高い電気的分離および低い挿入損でDCからRF周波数まで機能するスイッチを提供する。【解決手段】微細電気機械RFスイッチ(10)は片持アクチュエータアームとして懸垂式微細梁を用いて基板上に製造される。アンカー構造から、片持アームは基板上にマイクロストリップを含む接地線とギャップを有する信号線との上に延在する。片持アームの下面上にアンカーから離れて形成された金属接触部は信号線ギャップに面して位置づけられる。アーム上の電極は接地線上方にキャパシタ構造を形成する。キャパシタ構造は、構造上の質量とスイッチ動作中のスクィーズ膜減衰効果とを低減するために、上部電極とアームに延びる穴のグリッドを含む。スイッチは上部電極上の電圧の印加によって動作し、それによって静電力が接地線の方にキャパシタ構造を引きつけ、金属接触部が信号線のギャップを閉じる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された微細電気機械スイッチであって、前記基板上に形成された、アンカー構造と、下部電極と、開回路を形成するギャップを有する信号線と、前記アンカー構造に取付けられかつ前記下部電極および前記信号線ギャップの上に延在する片持アームと、前記片持アーム上に前記アンカー構造から離れて形成されかつ前記信号線の前記ギャップに面して位置づけられる接触部と、前記片持アーム上に形成された上部電極とを含み、前記下部電極より上に位置づけられた前記片持アームと前記上部電極との一部分は、前記上部電極への電圧の選択的印加時に前記下部電極の方に静電気的に引付けることが可能なキャパシタ構造を形成する、微細電気機械スイッチ。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭57-197728
特開平4-269416
特開平4-370622

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