特許
J-GLOBAL ID：200903080277928433
光変調素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小栗 昌平
, 本多 弘徳
, 市川 利光
, 高松 猛
, 濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-109100
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317653
出願日： 2003年04月14日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】ミラー或いは遮光膜における吸収が極めて少なく、高出力のレーザ光に耐えることが可能な光変調素子を得、動作信頼性の向上を図る。【解決手段】微小な反射体101を変位させることにより、光の反射光路を変化させる微小電気機械式の反射型光変調素子100において、少なくとも反射体101の光入射領域に、入射する光のスペクトル域に渡って光非吸収性を有する干渉ミラー111を設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
微小な反射体を変位させることにより、光の反射光路を変化させる微小電気機械式の反射偏向型光変調素子であって、
少なくとも前記反射体の光入射領域に、入射する光のスペクトル域に渡って光非吸収性を有する干渉ミラーが設けられたことを特徴とする光変調素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
2H041AA12
, 2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
