特許
J-GLOBAL ID：200903080284746170
有害ガスの浄化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-072633
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249144
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】 アルシン、ホスフィン、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラン、セレン化水素の水素化物系有害成分がガスボンベなどから漏洩した場合において、高濃度の有害成分を含有する大量の有害ガスを常温で極めて効率よく浄化することのできる浄化方法を開発する。【解決手段】 アルシン、ホスフィン、シランなどの水素化物系有害成分を含有する有害ガスを金属酸化物、銀化合物を主成分とする浄化剤と接触させ、有害ガスを浄化する。
請求項（抜粋）：
有害成分としてアルシン、ホスフィン、シラン、ジシラン、トリシラン、ジボラン、セレン化水素から選ばれる一種以上を含有する有害ガスを金属酸化物と銀化合物を主成分とする浄化剤と接触させ、該有害ガスを浄化することを特徴とする有害ガスの浄化方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 53/34 120 A
, B01J 20/02 B
