特許

J-GLOBAL ID：200903080294346766

電子顕微鏡用撮影装置

発明者： 大蔵 善博
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189922
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023561
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 露光時間を求める際に写真撮影の試料像を移動しても、当初の写真撮影としての視野像で撮影できる機能をもった撮影装置を提供する。【解決手段】試料を透過した電子線による試料像を写真撮影する撮影装置であって、前記試料像の部分的な電子線の強度を検出する検出器と、該検出器に対する試料像の位置を移動させる移動手段と、該検出器からの情報に基づいて露光時間を設定記憶する手段と、該露光時間設定記憶手段に対し設定記憶を指令する第1の指令手段と、撮影を指令する第2の指令手段を備え、該撮影指令手段により撮影が指令されると、前記第1の指令手段からの指令に基づいて前記露光時間設定手段に設定記憶された露光時間に基づいて写真撮影をするようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料を透過した電子線による試料像を写真撮影する撮影装置であって、前記試料像の部分的な電子線の強度を検出する検出器と、該検出器に対する試料像の位置を移動させる移動手段と、該検出器からの情報に基づいて露光時間を設定記憶する手段と、該露光時間設定記憶手段に対し設定記憶を指令する第1の指令手段と、撮影を指令する第2の指令手段を備え、該撮影指令手段により撮影が指令されると、前記第1の指令手段からの指令に基づいて前記露光時間設定手段に設定記憶された露光時間に基づいて写真撮影をするようにしたことを特徴とする透過型電子顕微鏡の撮影装置。

IPC (4件)：

H01J 37/22 501 ,  G03B 7/08 ,  G03B 15/00 ,  G03B 17/48

FI (4件)：

H01J 37/22 501 G ,  G03B 7/08 ,  G03B 15/00 U ,  G03B 17/48

Fターム (10件)：

2H002CC03 ,  2H002CC41 ,  2H002DB01 ,  2H002DB23 ,  2H002DB29 ,  2H002DB30 ,  2H002GA35 ,  2H002HA04 ,  2H002JA12 ,  2H104AA03