特許
J-GLOBAL ID:200903080298149914

カラーフィルタ用感光性フィルム、カラーフィルタ用感光性フィルムの製造法及びカラーフィルタの製造法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-252869
公開番号(公開出願番号):特開平9-096713
出願日: 1995年09月29日
公開日(公表日): 1997年04月08日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 感光性樹脂層に白欠陥のないカラーフィルタ用感光性フィルム、その製造法及び高精度な微細パターンを備えた、高品位のカラーフィルタの製造法を提供する。【解決手段】 感光性樹脂組成物を、フィルムAに塗工し、乾燥後の膜厚が0.5〜5.0μmの感光性樹脂層を形成後、その上にフィルムBをラミネートするカラーフィルタ用感光性フィルムの製造法において、フィルムA及びフィルムBの表面平滑性について、Raが0.020μm以下、Rmaxが0.06μm以下である感光性フィルムの製造法及び前記カラーフィルタ用感光性フィルムを、フィルムBをはがしながら透明基板上に貼り合わせ、パターン状に露光した後、フィルムAを除去し、現像する一連の工程を、色の異なるカラーフィルタ用感光性フィルムを用いて繰り返し行い、多色のパターンを形成させるカラーフィルタの製造法。
請求項(抜粋):
感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層、フィルムA及びフィルムB(フィルムA及びフィルムBの表面平滑性は、Raが0.020μm以下、Rmaxが0.06μm以下である)を含むカラーフィルタ用感光性フィルム。
IPC (7件):
G02B 5/20 101 ,  B32B 27/00 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/09
FI (7件):
G02B 5/20 101 ,  B32B 27/00 B ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027 511 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/09

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