特許
J-GLOBAL ID：200903080298677554
質量分析装置および差動排気装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087106
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302295
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、複数種類の大気圧イオン化法に適合できる差動排気部を持った質量分析装置を提供することにある。【構成】 大気圧下で生成したイオンは、差動排気部の第1ノズル7、第2ノズル8、スキマー9を通り、質量分析部へ導かれ質量分析される。圧力可変装置(26,27)により、差動排気部第1室34を大気圧イオン化法各モードに適した圧力に設定できるようになっている。【効果】 圧力可変装置を設けたことにより、差動排気部第1室34の圧力を大気圧イオン化法各モードに適した圧力に設定でき、差動排気部の真空を破ることなく容易にモード間の変更を行える。
請求項（抜粋）：
大気圧またはこれに準じた圧力下で試料を供給する試料供給部と、高真空下において該試料を検出し分析するための質量分析部と、上記試料供給部から供給された試料を上記質量分析部に導入するための第1ノズルと第2ノズルとスキマーとを備えた差動排気部とからなる質量分析計において、上記差動排気部が、上記試料供給部に連接する上記第1ノズルを保持するための第1フランジと上記第2ノズルを保持するための第2フランジとに囲まれた差動排気部第1室と、該第2フランジと上記スキマーを保持するための第3フランジとに囲まれ、真空ポンプにより排気されている差動排気部第2室とからなり、上記第2フランジに上記差動排気部第1室と差動排気部第2室とを繋げる排気通路を設け、上記排気通路のコンダクタンスを外部から調整するための圧力可変装置を上記第2フランジに設けたことを特徴とする質量分析装置。
IPC (4件)：
H01J 49/02
, G01N 30/72
, H01J 49/04
, H01J 49/10
