特許
J-GLOBAL ID：200903080299292036
干渉計用アライメント装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-195602
公開番号（公開出願番号）：特開平8-061911
出願日： 1994年08月19日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 基準板からの反射光と被検体からの反射光との干渉に基づき面精度を測定する干渉計において、基準板に対する被検体の平行度のアライメントを両反射光の集光スポットを合致させて行うについて、平面性の低い被検体でも所定の特性の集光スポットを得る。【構成】 光学系を介した光の照射により、基準板20の基準面20a からの反射光と、被検体25の測定面25a からの反射光との干渉に基づき測定面の面精度等を測定する干渉計に用いられ、基準面20a からの反射光の集光スポットと測定面25a からの反射光の集光スポットの位置を合致させることにより、基準面20a と測定面25a を正確に光学的に対向させてアライメントするについて、測定光束中に通過光束を規制するアパーチュア38を設けてなる。
請求項（抜粋）：
光学系を介した光の照射により、基準板の基準面からの反射光と、被検体の測定面からの反射光との干渉に基づき測定面の面精度等を測定する干渉計に用いられ、基準面からの反射光の集光スポットと測定面からの反射光の集光スポットの位置を合致させることにより、基準面と測定面を正確に光学的に対向させる被検体の干渉計用アライメント装置であって、測定光束中に通過光束を規制するアパーチュアを設けたことを特徴とする干渉計用アライメント装置。
IPC (2件)：
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