特許

J-GLOBAL ID：200903080303960065

圧電アクチュエータ

発明者： 渡辺 聖士 ,  佐藤 樹 ,  鈴木 毅 ,  谷 和夫 ,  鈴木 陽子
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287612
公開番号（公開出願番号）：特開2001-111128
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 所望の方向に駆動することが可能な圧電アクチュエータの提供及び製造工程を簡略化すること。【解決手段】 圧電アクチュエータは、大変位端2と小変位端3からなる変位機構部1と、変位機構部1の一面で、大変位端2寄りに貼付けた駆動用圧電素子4と、変位機構部1の他面と接する移動体5からなる。大変位端2寄りに貼付けた駆動用圧電素子4に駆動信号を入力することにより、大変位端2側に大きく歪みが生じ、小変位端3側の変位が小さくなる。その変位差により、大変位端2側と小変位端3側とで、移動体5に対する摩擦力に差が生じる。その摩擦差により、移動体5を大変位端2側から小変位端3へと、所望の方向に駆動させることが可能である。また、従来の圧電アクチュエータに見られるような突起を無くした構造であり、製造工程の簡略化が可能である。

請求項（抜粋）：

大変位端と小変位端からなる変位機構部を有する圧電アクチュエータにおいて、前記変位機構部の一面で且つ前記大変位端寄りに、少なくとも一つの駆動用圧電素子を貼付けし、前記駆動用圧電素子に駆動信号を入力することにより、前記小変位端の変位に比べ、前記大変位端の変位を大にさせ、前記変位機構部の他面に接触する移動体を駆動させることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (3件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/083 ,  H02N 2/00

FI (3件)：

H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/08 S