クリーンルーム設備

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-281317
公開番号（公開出願番号）：特開2002-089917
出願日： 2000年09月18日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】床に達した塵埃が飛散することを防止できるクリーンルーム設備を提供する。【解決手段】クリーンルーム10の内部には、天井面12にFFU14が配設されたベイ16と呼ばれるエリアが形成される。ベイ16の床面には、凹部16Aが形成され、この凹部16Aに冷却パネル34が配設される。冷却パネル34の内部には冷却水が供給され、冷却パネル34の表面で結露を生じる。

請求項（抜粋）：

清浄エアを吹き出すファンフィルタユニットを、室の天井面に配したクリーンルーム設備において、外表面に結露を発生する結露発生手段を前記室の床面に配設したことを特徴とするクリーンルーム設備。

Fターム (1件)：

3L058BF07

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