特許

J-GLOBAL ID：200903080312057580

静電型アクチュエータ及びその静電型アクチュエータの製造方法並びにその静電型アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッド及びそのインクジェット記録ヘッドの製造方法並びにそのインクジェット記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置

発明者： 加藤 静一
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-275544
公開番号（公開出願番号）：特開2002-086719
出願日： 2000年09月11日
公開日（公表日）： 2002年03月26日
要約：

【要約】【課題】 駆動電圧の印加と印加強度により即座に強く作動して、吐出するインク液滴により高速高品質のインク画像を記録する、高密度化小型化した静電型アクチュエータ及びその静電型アクチュエータの製造方法並びにその静電型アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッド及びそのインクジェット記録ヘッドの製造方法並びにそのインクジェット記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】 周辺が固定された薄膜の振動板が捩じり振動する捩じり振動板1と、捩じり振動板1を形成する捩じり振動板基板2と、捩じり振動板基板2に形成された捩じり振動板1に対向して駆動電圧を印加する対向個別電極3と、対向個別電極3を形成する対向個別電極基板4とからなる。

請求項（抜粋）：

駆動電圧の印加による静電力により振動して作動する静電型アクチュエータにおいて、周辺が固定された薄膜の振動板が捩じり振動する捩じり振動板と、前記捩じり振動板を形成する捩じり振動板基板と、前記捩じり振動板基板に形成された前記捩じり振動板に対向して駆動電圧を印加する対向個別電極と、前記対向個別電極を形成する対向個別電極基板とからなることを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (4件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H02N 1/00

FI (3件)：

H02N 1/00 ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (18件)：

2C057AF01 ,  2C057AF03 ,  2C057AF37 ,  2C057AF93 ,  2C057AG52 ,  2C057AG54 ,  2C057AG59 ,  2C057AP02 ,  2C057AP25 ,  2C057AP26 ,  2C057AP31 ,  2C057AP33 ,  2C057AP34 ,  2C057AP35 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14