特許

J-GLOBAL ID：200903080312297816

基板用処理液の攪拌方法及び基板液処理装置

発明者： 角 一彦 ,  星野 栄一 ,  金光 英之 ,  高野 径朗
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  シグマメルテック株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-116206
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315314
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】本発明は、基板用処理液の攪拌方法に関し、液中の異物の混入を防止して歩留りを向上し、特性の良いデバイスを形成することを目的とする。【構成】被処理基板を浸漬する液体Dの表面にガスを吹きつけて6該液体を攪拌する工程を含み構成する。

請求項（抜粋）：

被処理基板を浸漬する液の表面にガスを吹きつけて該液を攪拌する工程を含むことを特徴とする基板用処理液の攪拌方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306

FI (2件)：

H01L 21/30 361 L ,  H01L 21/30 361 A