特許
J-GLOBAL ID：200903080315512696
放射温度測定方法及び放射温度測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-076210
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266603
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 放射温度計を用い、光の多重反射によるバーチャル黒体の考え方に基づいて半導体ウエハの温度を測定するにあたって高精度の温度測定を行うこと。【解決手段】 ウエハWと半径rRの円形のリフレクター1とを対向させ、リフレクター1内にプローブ2を設置する系を考える。このプローブ2は例えば単なる貫通孔とし、ここを通る輻射光の強度は、リフレクター1の裏側に設けたCCDカメラの撮像データに基づいて求める。ウエハWとリフレクター1との間から入り込むノイズ及び出ていくノイズによる誤差分と、リフレクター1とプローブ2との間から入り込むノイズ及び出て行くノイズによる誤差分とを考慮してプローブ2へ入射する輻射光の測定値を補正し、ウエハWの輻射率を算出し、ウエハWの温度を求める。
請求項（抜粋）：
平らな被測定面を有する被測定物と、前記被測定面よりも狭い平らな反射面が前記被測定面に対向するように設けられた光反射体と、入射面が前記反射面にて囲まれた状態で露出すると共に光反射体を貫通して設けられ、被測定面からの輻射光を通過させる光路部と、を備え、被測定面と反射面との間で多重反射した輻射光を前記光路部の入射面から入射させてその輻射強度を測定し、その測定値に基づいて被測定面の温度を求める方法において、下記の工程を行うことを特徴とする放射温度測定方法。記イ.反射面の面積SをS1、S2とし、反射面と被測定面との距離dをd1、d2としたとき、(S1、d1)の組み合わせ、(S1、d2)の組み合わせ、(S2、d1)の組み合わせ及び(S2、d2)の組み合わせの4通りの組み合わせを設定して、夫々の組み合わせにおける輻射強度ES1d1、ES1d2、ES2d1、ES2d2を測定する。ロ.4通りの各組合わせにおいて、反射面の面積Sと、反射面と被測定面との間の空間を柱体とみなしたときの当該柱体の側周面の面積(反射面の周囲の長さDと前記距離dとの積)と、前記輻射強度の測定値Eとを下記の(数100)に代入し、その代入結果に基づき、EN2-EL2を求める。【数100】ただしεは被測定面の輻射率、E0は温度Tのときの黒体輻射強度、Rは反射面の反射率、EN1-EL1は反射面と被測定面との隙間から出入りするノイズに対応する補正値、EN2-EL2は反射体と光路部との間から出入りするノイズ及び光路部関するノイズに対応する補正値である。ハ.求められたEN2-EL2を(数100)に代入し、前記面積P及び前記距離dの組み合わせを変えた2通りの組み合わせを設定して夫々の組み合わせにおける輻射強度を測定し、これら2個の輻射光の測定値を前記(数100)に代入し、その代入結果に基づきEN1-EL1を求める。ニ.EN1-EL1、及びEN2-EL2を代入した(数100)に基づいて輻射強度の測定結果を補正する。ホ.反射体が存在しない状態で輻射強度を測定した結果と前記ニ.項で補正された測定結果とに基づいて被測定面の輻射率を算出する。ヘ.被測定面の輻射率と反射体が存在しない状態で輻射強度を測定した結果とに基づいて被測定面の温度を求める。
IPC (3件)：
G01J 5/00
, G01J 5/02
, H01L 21/66
G01J 5/00 D
, G01J 5/02 K
, H01L 21/66 T
2G066AA13
, 2G066AC01
, 2G066AC11
, 2G066BA14
, 2G066BA18
, 2G066BA38
, 2G066BB02
, 2G066CB01
, 4M106AA01
, 4M106CA70
, 4M106DH02
, 4M106DH12
, 4M106DH39
, 4M106DH41
, 4M106DJ11
, 4M106DJ19
