特許

J-GLOBAL ID：200903080318750539

結晶中酸素濃度の制御方法

発明者： 小川 正裕 ,  前田 徳次
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-182132
公開番号（公開出願番号）：特開平11-029391
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 部品タイプが変更される場合でも、結晶中酸素濃度のずれの発生を抑制すると共に、結晶中酸素濃度を規格範囲内に容易、かつ確実に収めることができる結晶中酸素濃度の制御方法を提供すること。【解決手段】 酸素濃度とルツボ回転数等の制御因子における操作量との関係式を、前記制御因子以外の酸素濃度に影響を及ぼす外乱要因に対する補正量により補正した関係式を求めておき、前記制御因子の操作量を決定し、該操作量に基づいて結晶17を一旦引き上げ、引き上げた結晶17中の酸素濃度を測定した後、該測定した酸素濃度と前記関係式による酸素濃度予測値との差に基づいて、部品タイプ変更要因を含むいくつかの要因ごとに前記関係式を補正し、この補正後の関係式に基づいて酸素濃度が所定の目標値となるように前記制御因子の操作量を決定し、この操作量に基づいて次の結晶を引き上げる結晶中酸素濃度の制御方法。

請求項（抜粋）：

石英ルツボ内の溶融液より結晶を引き上げる際の結晶中酸素濃度の制御方法において、酸素濃度とルツボ回転数等の制御因子における操作量との関係式を、前記制御因子以外の酸素濃度に影響を及ぼす外乱要因に対する補正量により補正した関係式を求めておき、前記制御因子の操作量を決定し、該操作量に基づいて結晶を一旦引き上げ、該引き上げた結晶中の酸素濃度を測定した後、該測定した酸素濃度(以下、酸素濃度測定値と記す)と前記関係式による酸素濃度予測値との差に基づいて部品劣化要因、品種変更要因、部品タイプ変更要因、及びこれら以外の要因ごとに前記関係式を補正し、この補正後の関係式に基づいて酸素濃度が所定の目標値となるように前記ルツボ回転数等の前記制御因子の操作量を決定し、この操作量に基づいて次の結晶を引き上げることを特徴とする結晶中酸素濃度の制御方法。

IPC (2件)：

C30B 15/20 ,  C30B 29/06 502

FI (2件)：

C30B 15/20 ,  C30B 29/06 502 H