特許

J-GLOBAL ID：200903080324442633

ディスク用紫外線硬化装置および塗布膜形成装置

発明者： 西村 博信 ,  山口 勝美
出願人/特許権者： オリジン電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-163828
公開番号（公開出願番号）：特開平5-334730
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 少量の不活性のガスを使用してディスクの被膜を短時間で硬化処理を行うと共に,その被膜の全面をほぼ均一に硬化させること。できる。【構成】 ディスクの載置されるディスク受台を三方向から囲み,かつこれと一緒に縦方向または横方向に動くことの出来る外囲器と,この外囲器と共に密閉空間を形成する役割をもつと共に前記ディスクの主面に形成された被膜に紫外線透過用ガラスを通して紫外線を照射して硬化させる紫外線照射装置とを備え,被膜の硬化時には前記密閉空間が外部から供給される不活性のガスで充満されるディスク用紫外線硬化装置において,前記紫外線透過ガラスの下部に,外部から供給される不活性のガスを外囲器の全周にわたってほぼ等しく前記密閉空間に噴出し得る環状流路とガス噴出用口とを有する部材を備える。

請求項（抜粋）：

ディスクの載置されるディスク受台を三方向から囲み,かつこれと一緒に縦方向または横方向に動くことの出来る外囲器と,この外囲器と共に密閉空間を形成する役割をもつと共に前記ディスクの主面に形成された被膜に紫外線透過用ガラスを通して紫外線を照射して硬化させる紫外線照射装置とを備え,前記被膜の硬化時には前記密閉空間が外部から供給される不活性のガスで充満されるディスク用紫外線硬化装置において,前記紫外線透過ガラスの下部に,外部から供給される前記不活性のガスを前記外囲器の全周にわたってほぼ等しく前記密閉空間に噴出し得る環状流路とガス噴出用口とを有する部材を備えたことを特徴とするディスク用紫外線硬化装置

IPC (4件)：

G11B 7/26 ,  B05C 9/12 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-154341
  
• 特開平3-146161
  
• 特開平1-101125