特許
J-GLOBAL ID：200903080326199256
シリコン切断廃液からの砥粒回収方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-293725
公開番号（公開出願番号）：特開平9-109144
出願日： 1995年10月16日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：
【要約】【課題】 シリコン単結晶のワイヤーソー切断において生じる廃砥粒調合油から再利用可能な砥粒を回収する。【解決手段】 a)砥粒調合油に含まれる油分と相溶する低粘度の抽出剤を廃砥粒調合油に添加する工程と、b)この抽出剤を添加した廃砥粒調合油を被処理液として、沈降分離槽の上部より連続的に供給し、前記と同様の抽出剤を沈降分離槽の下部より上向きに注入することにより、所定粒径未満の固形物を含有する溢流液と、所定の粒径以上の固形物を含有する底部排出流とに分離する工程とを有することを特徴とするシリコン切断廃液からの砥粒回収方法である。さらに上記b)工程において得られた底部排出流を被処理液として、さらに上記b)工程を1ないし複数回繰返すことにより精選を行なうことが好ましい。
請求項（抜粋）：
シリコン結晶の切断の際に使用される砥粒調合油の廃液からの砥粒の回収方法であって、a)砥粒調合油に含まれる油分と相溶する低粘度の抽出剤を、廃砥粒調合油に添加する工程と、b)この抽出剤を添加した廃砥粒調合油を被処理液として、沈降分離槽の上部より連続的に供給し、前記と同様の抽出剤を沈降分離槽の下部より上向きに注入することにより、所定粒径未満の固形物を含有する溢流液と、所定の粒径以上の固形物を含有する底部排出流とに分離する工程と、を有することを特徴とするシリコン切断廃液からの砥粒回収方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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