特許
J-GLOBAL ID：200903080326668450
溶液結晶成長装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
, 高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087243
公開番号（公開出願番号）：特開平8-208365
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1996年08月13日
要約：
【要約】【目的】 溶液成長に関し、比較的低温で結晶成長が可能な溶液結晶成長において、小さなシード結晶から所望口径のバルク状単結晶を作製することが可能な結晶成長装置を提供することを目的とする。【構成】 気密空間を画定する成長用容器と、前記成長用容器底部に固定されたヒートシンクと、前記ヒートシンク上に配置され、その底面でシード結晶を固定でき、内面がヒートシンク側で小さく、反対側で大きな内径を有するテーパ面を画定するシード抑え部材と、前記ヒートシンク上所定距離に形成され、ソース結晶を保持することのできるソース結晶固定治具とを有する。
請求項（抜粋）：
気密空間を画定する成長用容器(1)と、前記成長用容器底部に固定されたヒートシンク(7)と、前記ヒートシンク(7)上に配置され、その底面でシード結晶を固定でき、内面がヒートシンク側で小さく、反対側で大きな内径を有するテーパ面を画定するシード抑え部材(3)と、前記ヒートシンク上所定距離に形成され、ソース結晶を保持することのできるソース結晶固定治具(5)とを有する溶液結晶成長装置。
IPC (4件)：
C30B 7/08
, C30B 9/04
, C30B 29/48
, H01L 33/00
