プレーナ型ガルバノミラー

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308901
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125038
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】外的応力の影響を受けにくく、実装性の良いプレーナ型ガルバノミラーを得る。【解決手段】ガルバノミラーチップを台座基板に搭載し、ワイヤーボンディングにより前記チップと前記台座基板との電気的接続を行い、前記台座基板を穴又は溝を有するベース基板にワイヤー側を下方にして前記穴又は溝にワイヤーループを合わせて搭載し、該ベース基板上に前記永久磁石と前記ヨークを固定してプレーナ型ガルバノミラーを構成する。

請求項（抜粋）：

半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の一方の面にミラーを形成し、他方の面に磁界を発生する平面コイルを形成したプレーナ型ガルバノミラーチップと、前記チップのトーションバーの軸方向と平行に配置された可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対をなす永久磁石と、ヨークとで構成されるプレーナ型ガルバノミラーにおいて、前記チップを台座基板に搭載し、ワイヤーボンディングにより前記チップと前記台座基板との電気的接続を行い、前記台座基板を穴または溝を有するベース基板にワイヤー側を下方にして前記穴または溝にワイヤーループを合わせて搭載し、該ベース基板上に前記永久磁石と前記ヨークを固定して成ることを特徴とするプレーナ型ガルバノミラー。

Fターム (3件)：

2H045AB16 , 2H045AB73 , 2H045BA02

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