特許

J-GLOBAL ID：200903080335129651

圧電加速度センサ

発明者： トーマス・オークケ ,  デイーテル・ネーゲレ ,  ゲラルト・ブリンクス ,  マンフレート・ヴアイナハト ,  ヴイクトル・ネーゲレ
出願人/特許権者： テミツク・テレフンケン・マイクロエレクトロニツク・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 中平 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-324960
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220130
出願日： 1995年11月09日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【構成】 圧電加速度センサは、曲げ素子1の主感度軸線が基板3の面にあるように、担体2により基板3上に機械的に取付けられている。基板3の機械的接触個所6が電気的接続部としても構成されていることにより、担体2が曲げ素子1の電気的接触にも役立つ。【効果】 このような加速度センサは、公知のセンサに対して、曲げ素子1と基板3との良好な機械的及び電気的分離を行い、簡単な接触により結合接続線をなくす。

請求項（抜粋）：

圧電材料から成りかつ2つの外部電極を持つ曲げ素子(1)とその担体(2)とから成る複合装置(1,2)か基板(3)に取付けられている圧電加速度センサにおいて、a)担体(2)が板状に構成される2つの担体部分(2a,2b)から成り、これらの担体部分(2a,2b)の間に曲げ素子(1)が設けられ、b)曲げ素子(1)の主感度軸線が基板(3)の面にあるように、担体(2)が基板(3)の接触個所(6)を介してこの基板(3)に機械的に結合され、c)両方の担体部分(2a,2b)が曲げ素子(1)の外部電極との接触範囲に導電層(7)を持ち、d)基板(3)との電気的接続を行うため、担体部分(2a,2b)上の導電層(7)が、担体部分(2a,2b)と基板(3)との機械的接触個所まで導かれており、e)基板(3)の機械的接触個所(6)が電気的接触個所として構成されていることを特徴とする、圧電加速度センサ。