特許
J-GLOBAL ID：200903080336728311
容器内の基板の検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-170828
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012658
出願日： 1998年06月18日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、処理時間を大幅に短縮することができ、生産性を高めることができる容器内の基板の検出方法を提供するものである。【解決手段】 内部に複数の基板2が格納可能なカセット3が収納され、内部を大気圧状態と真空状態の間で切換えることにより、真空容器と同一の雰囲気状態に設定して真空容器との間で基板2の出し入れを行なうロードロック容器1を準備し、真空排気動作を行なっている最中に基板2の有無の検出を行なうものである。
請求項（抜粋）：
内部に複数の基板が格納可能なカセットが収納され、該内部を大気圧状態と真空状態の間で切換えることにより、他の処理容器と同一の雰囲気状態に設定して他の処理容器との間で前記基板の出し入れを行なう容器を準備し、真空排気動作を行なっている最中に前記基板の有無の検出を行なうことを特徴とする容器内の基板の検出方法。
Fターム (8件)：
5F031BB01
, 5F031CC63
, 5F031GG02
, 5F031GG10
, 5F031GG12
, 5F031LL02
, 5F031LL05
, 5F031MM10
