特許

J-GLOBAL ID：200903080345363547

蛍石単結晶の熱処理装置および熱処理方法

発明者： 水垣 勉 ,  佐久間 繁 ,  塩澤 正樹 ,  高野 修一 ,  西川 秀美
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  応用光研工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034708
公開番号（公開出願番号）：特開平10-231194
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 エキシマレーザーステッパーのように高精度な光学系に使用可能な歪の良好な蛍石単結晶は得られなかった。【解決手段】 蛍石単結晶を収納するための気密容器を有し、この気密容器の外部側方に、独立に温度制御が可能な2回路以上のヒーターを装備した蛍石単結晶の熱処理装置を設け、その装置内の上部および(または)下部に複数枚からなる反射板を設置した。

請求項（抜粋）：

蛍石単結晶を収納するための気密容器を有し、該気密容器の外部側方に、独立に温度制御が可能な2回路以上のヒーターを配置した熱処理装置において、気密容器内の上部および/または下部に複数枚の反射板を配置した蛍石単結晶の熱処理装置。

IPC (3件)：

C30B 29/12 ,  C01F 11/22 ,  C30B 33/02

FI (3件)：

C30B 29/12 ,  C01F 11/22 ,  C30B 33/02