特許

J-GLOBAL ID：200903080346229577

パネルクリーニング装置

発明者： 三宅 泰明 ,  原口 博美
出願人/特許権者： 三星ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-252683
公開番号（公開出願番号）：特開平6-099159
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【目的】 有機溶剤等使用することなく、パネルクリーニグを効率よく自動的に行える装置を提供する。【構成】 液晶基板等の処理工程で生じたガラスパネル表面の付着物を除去するための装置であって、テーブルにセットしたガラスパネルを移送する移送手段と、ガラスパネルの表面に対してナイフを所定刃先角度でもって当接した状態で保持するヘッドと、ヘッドで保持したナイフを該ナイフの刃の方向に、もしくはヘッド自体をワーク移送方向と直交する方向に振動させる振動手段とを備える。

請求項（抜粋）：

液晶基板等の処理工程で生じたガラスパネル表面の付着物を除去するための装置であって、テーブルにセットしたガラスパネルを移送する移送手段と、移送されるガラスパネルの表面に対してナイフを所定刃先角度でもって当接した状態で保持するホルダーと、ホルダーで保持したナイフを該ナイフの刃の方向に、もしくはホルダー自体をワーク移送方向と直交する方向に振動させる振動手段とを備えたことを特徴とするパネルクリーニング装置。