特許

J-GLOBAL ID：200903080357766388

ウェハの搬送方法および搬送装置

発明者： 竹田 謙二 ,  西野 勇 ,  吉田 充 ,  工藤 義孝
出願人/特許権者： 同和鉱業株式会社
代理人 (1件)： 丸岡 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-113994
公開番号（公開出願番号）：特開平7-299734
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 従来の方法では、ウェハの研磨と搬送が別々の工程で行われるため作業効率が悪く、ウェハとキャリア面が接触するため不純物の付着による汚染の問題があったが、これらの問題を解決して、ウェハの搬送手段の自動化と一体化を可能にする。【構成】 ウェハホルダー5の中心に設けた噴出孔から空気を噴出することによって、ウェハ6をウェハホルダーのホールド面に非接触状態でホールドし、回転する定盤1上で研磨を行った後、空気噴出を純水噴出に切り替え、洗浄純水シャワ8の上でウェハ6の上下面を同時に洗浄する。

請求項（抜粋）：

圧縮空気または水を噴出させることによってウェハ(6)を非接触ホールドするウェハホルダー(5)とこれを先端に有するキャリアアーム(12)とからなるキャリアを用いて、ウェハ(6)をローディングステーション(3)からポリッシングステーション(11)上に移動させ、次いでウェハホルダー(5)の外周に設けた数個のリテーナ(7)の働きで、ウェハ(6)に均一な圧力がかかるように空気圧をかけながら研磨を行い、研磨後は、上記空気圧に代えて水を噴出させながらウェハ洗浄純水シャワー部(8)にキャリアアーム(12)を移動させてウェハ研磨面を洗浄し、次いで上下面を洗浄し終えたウェハ(6)をアンローディングステーション(9)に置く作業を順次繰り返すことを特徴とするウェハ搬送方法。

IPC (4件)：

B24B 37/04 ,  B24B 41/06 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭52-026159
  
• 特開昭62-068273
  
• 特開昭56-146667
  
• 特開平4-334025