特許
J-GLOBAL ID：200903080358030369
電子放出素子、電子源、画像形成装置及びこれらの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-121903
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317147
出願日： 1998年05月01日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 表面伝導型電子放出素子において、電子放出部を高精度に制御して、素子毎に電子放出特性のむらがない電子源を構成し、表示装置等画像形成装置を提供する。【解決手段】 素子電極2、3を形成した基板1上に素子電極2、3間近傍に開口部を有するマスク6を形成し、素子電極3に接続し且つ素子電極2との間に間隙を有する導電性膜4を電解メッキによって成膜し、該間隙を電子放出部5とする。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した一対の素子電極と、該素子電極の一方に電気的に接続された電解メッキ膜からなる導電性膜とを有し、該導電性膜端部と他方の素子電極間隙を電子放出部とすることを特徴とする電子放出素子。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 E
, H01J 9/02 E
, H01J 31/12 C
