磁気シールドクリーンルームおよび該ルームに配設されるフィルタユニット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田良徳 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123829
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334380
出願日： 1993年05月26日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】高い磁気シールド性能および清浄度を得るとともに、設置方法の簡素化、良好な施工性を得る。【構成】磁気シールド部材5からなる壁、天井、床より構成される室2と、室2の天井部に形成される給気用開口部11と、室2の壁下方に形成される排気用開口部12と、給気用開口部11に配設される電磁フィルタ、磁気フィルタおよびエアフィルタと、前記排気用開口部12に配設される電磁フィルタおよび磁気フィルタとを備える。また、給気用開口部11に配設されるフィルタユニット13を、電磁フィルタ、磁気フィルタおよびエアフィルタとを積層して一体化し、磁気シールド部材5に接続するようにしてもよい。

請求項（抜粋）：

磁気シールド部材からなる壁、天井、床より構成される室と、該室の天井部に形成される給気用開口部と、前記室の壁下方に形成される排気用開口部と、前記給気用開口部に配設される電磁フィルタ、磁気フィルタおよびエアフィルタと、前記排気用開口部に配設される電磁フィルタおよび磁気フィルタとを備えることを特徴とする磁気シールドクリーンルーム。

IPC (3件)：

H05K 9/00 , E04B 1/92 , E04B 9/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

電磁波シールド室
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-115655 出願人：日立プラント建設株式会社
特開平2-192534
特開平4-157797

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