特許

J-GLOBAL ID：200903080373418659

旋回する光マイクロミラー、マイクロミラーのマトリックス、およびマイクロミラーの製造方法

発明者： セルジュ・ヴァレット
出願人/特許権者： ティーム、フォトニクス
代理人 (8件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-564645
公開番号（公開出願番号）：特表2004-522996
出願日： 2002年02月13日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

本発明は、固定部31と、反射手段48を持つ可動部41と、これら可動部を固定部に結合させる連結手段とを備えたマイクロミラーに関するものである。このマイクロミラーは、連結手段が、可動部の下側の、該可動部と上記固定部との間に設けられたピボットヒンジ47からなり、可動部内にあって該ピボットヒンジの軸線を通る回転軸線周りに該可動部を動かせるように設けられ、前記固定部が、少なくとも前記可動部の端部の領域に臨む少なくとも一つの空孔部36を備えている点に特徴を有している。また、本発明は、旋回心軸で回転するマイクロミラーのマトリックス、および斯かるマイクロミラーの製造方法に関するものである。これらのマイクロミラーは、特に、光ルーティングシステムないし画像投影システムに用いることができる。

請求項（抜粋）：

固定部(31)と、反射手段(48)を持つ可動部(41,48)と、前記可動部を前記固定部に結合させる連結手段とを備えたマイクロミラーにおいて、 前記連結手段は、前記可動部の下側の、該可動部と前記固定部との間に設けられたピボットヒンジ(47)から形成されるとともに、前記可動部内にあって該ピボットヒンジの軸線を通過する回転軸線(R1,R2,R3,R4)周りに該可動部を動かすことができるように設けられ、 前記固定部は、少なくとも前記可動部の一端部の領域に臨む少なくとも一つの空孔部(36)を備えていることを特徴とするマイクロミラー。

IPC (4件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00

FI (4件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  B81C1/00

Fターム (6件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08