特許

J-GLOBAL ID：200903080379725383

ワイヤソーの切断方法

発明者： 山本 清二 ,  沢藤 進
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209430
公開番号（公開出願番号）：特開2000-042896
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】【課題】 切断される被加工物の切断面のうねりを減少させることができるとともに、経済的な切断が可能となる。【解決手段】 走行するワイヤにインゴットを押し当て、多数の薄板状のウェーハに切断する往復走行ワイヤソーにおいて、前記インゴット切断後のワイヤ摩耗量を検知する手段としてワイヤの線径d、真円度cを測定し、測定されたワイヤ線径d、真円度cの値に応じてワイヤの走行速度出力値Vwn、またはインゴットの切断送り速度出力値Fwn、またはワイヤの新線供給量出力値Wwnを単独、または二つ以上組み合わせて制御する。この結果、切断時間を短縮できるとともに、切断面のうねりを少なくすることができ、更にワイヤを有効に無駄なく利用できるので、きわめて経済的な切断が可能となる。

請求項（抜粋）：

走行するワイヤに被加工物を押し当て、多数の薄板状のウェーハに切断する往復走行ワイヤソーにおいて、前記被加工物切断後のワイヤ摩耗量を検知し、測定したワイヤ摩耗量に応じて、ワイヤ新線供給量、ワイヤ走行速度、または被加工物切断送り速度を単独、またはワイヤ新線供給量、ワイヤ走行速度、または被加工物切断送り速度の二つ以上を組み合わせて制御することを特徴とするワイヤソーの切断方法。

IPC (2件)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04

FI (3件)：

B24B 27/06 S ,  B24B 27/06 F ,  B28D 5/04 C

Fターム (15件)：

3C058AA05 ,  3C058BA04 ,  3C058BC02 ,  3C058CB03 ,  3C058DA03 ,  3C058DA17 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB01 ,  3C069BC03 ,  3C069BC06 ,  3C069CA04 ,  3C069CA05 ,  3C069DA03 ,  3C069EA01