特許

J-GLOBAL ID：200903080391106613

物品搬送システム及び、半導体製造ライン用の搬送システム

発明者： 多田 圭志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-392343
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197708
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】 本線軌道の一方、及び他方から作業エリアの支線軌道に移動体を走行させることできるようにすると共に、作業エリアをパスするように本線軌道上をそのまま移動体を走行させることができるようにする。【解決手段】 本線軌道21と、この本線軌道21から分岐すると共に各モジュール13A〜13H内に配設された支線軌道23と、本線軌道21及び支線軌道23に移動可能に係合されて走行する半導体ウェハ搬送用の搬送車25と、本線軌道21の一方にその一端が接続され、かつ、本線軌道21の他方にその他端が接続された双方向性の分岐手段60とを備え、この分岐手段60は、本線軌道21の一方からモジュール13A〜13Hの支線軌道23に分岐する第1の分岐軌道33Aを有し、かつ、この本線軌道21の他方からモジュール13A〜13Hの支線軌道23に分岐する第2の分岐軌道33Bを有するものである。

請求項（抜粋）：

本線軌道と、前記本線軌道から分岐すると共に任意の作業エリア内に配設された支線軌道と、前記本線軌道及び支線軌道に移動可能に係合されて走行する物品搬送用の移動体と、前記本線軌道の一方にその一端が接続され、かつ、前記本線軌道の他方にその他端が接続された双方向性の分岐手段とを備え、前記分岐手段は、前記本線軌道の一方から作業エリアの支線軌道に分岐する第1の分岐機能を有し、かつ、前記本線軌道の他方から前記作業エリアの支線軌道に分岐する第2の分岐機能を有することを特徴とする物品搬送システム。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23P 21/00 307 ,  B61B 13/00 ,  B61D 27/00

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B23P 21/00 307 G ,  B61B 13/00 F ,  B61D 27/00 S

Fターム (13件)：

3C030DA14 ,  3C030DA27 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031GA59 ,  5F031GA65 ,  5F031JA50 ,  5F031MA06 ,  5F031NA02 ,  5F031PA02