特許

J-GLOBAL ID：200903080396055383

基板の運搬兼保管箱

発明者： 青井 信雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255175
公開番号（公開出願番号）：特開平5-095041
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】 気密性が高く、シール部の材質による汚染のない基板の運搬兼保管箱を提供する。【構成】 内部に基板収納部を有し下部内面に係止穴を設けた上蓋1と、周縁部にメタルダイアフラムシール6を備えた下蓋2とからなり、下蓋2には、不活性ガスを送気する第1の送気バルブ7と、基板収納部内を排気する排気バルブ8と、上蓋1に設けられた係止穴に突入して下蓋2と上蓋1を係止し固定する出没自在の係止杆4、5と、メタルダイアフラムシール6の内部を加圧、常圧または減圧状態にしメタルダイアフラムシール6を上蓋1に密着または離間させるための第2の送気バルブ9とを設けた。

請求項（抜粋）：

内部に基板収納部を有し下部内面に係止穴を設けた上蓋と、周縁部にメタルダイアフラムシールを備えた下蓋とからなり、下蓋には、基板収納部へ不活性ガスを送気する第1の送気バルブと、基板収納部内を排気する排気バルブと、上蓋に設けられた係止穴に突入して下蓋と上蓋を係止し固定する出没自在の係止杆と、メタルダイアフラムシールの内部を加圧、常圧または減圧状態にしメタルダイアフラムシールを上蓋に密着または離間させるための第2の送気バルブとを設けた基板の運搬兼保管箱。