特許

J-GLOBAL ID：200903080403047243

レーザー蒸着膜作製用ターゲット

発明者： 向田 昌志 ,  宮澤 信太郎
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 高山 敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048561
公開番号（公開出願番号）：特開平6-239695
出願日： 1993年02月15日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：

【要約】【目的】 レーザー蒸着法によって薄膜を作製した場合に、微小な異物が薄膜表面に生じないターゲットを提供すること。【構成】 収束したレーザー光1をターゲット18に照射してプラズマ化し、ターゲット物質の薄膜を基板5上に堆積させるレーザー蒸着薄膜作製法において利用されるターゲットであって、ターゲットが単結晶または、ほぼ密度がバルクと等しい多結晶体からなるレーザー蒸着膜作製用ターゲット。

請求項（抜粋）：

収束したレーザー光をターゲットに照射してプラズマ化し、前記ターゲット物質の薄膜を基板上に堆積させるレーザー蒸着薄膜作製法において利用されるターゲットであって、前記ターゲットが単結晶または、ほぼ密度がバルクと等しい多結晶体からなることを特徴とするレーザー蒸着膜作製用ターゲット。

IPC (4件)：

C30B 23/08 ,  C01G 1/00 ,  C23C 14/28 ,  H01L 21/203

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-214098
  
• 特開平4-119968
  
• 特開平3-104953
  
• 特公平3-004659