特許

J-GLOBAL ID：200903080407982362

インクジェット記録ヘッド用薄膜発熱体と同発熱体を配設したインクジェット記録ヘッド用複合基板

発明者： 和田 俊朗 ,  佐藤 健
出願人/特許権者： 住友特殊金属株式会社 ,  日本タングステン株式会社
代理人 (1件)： 小堀 益
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-211919
公開番号（公開出願番号）：特開平8-052874
出願日： 1994年08月13日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】 従来の発熱体に比べて比抵抗が大きく、抵抗の温度係数が小さく、さらには、耐摩耗性、耐酸化性において優れたインクジェット記録ヘッド用薄膜発熱体とこの発熱体を使用したインクジェット記録ヘッド用複合基板の提供。【構成】 Ti、ZrおよびHfのIVa族元素の炭化物の少なくとも1種を50〜80モル%含有し、残部が炭化珪素20〜50モル%からなる基本成分を有する発熱体であって、Si単結晶基板等の表面に被覆されたAl2 O3 、SiO2等の絶縁層を介して配設してインクジェット記録ヘッド用複合基板を得る。

請求項（抜粋）：

基本成分がIVa族元素の炭化物の中の少なくとも1種を50〜80モル%含み、残部が炭化珪素20〜50モル%からなる薄膜によって形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド用薄膜発熱体。