特許
J-GLOBAL ID：200903080411770701
位置合わせ方法及びこれに使用する装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016609
公開番号（公開出願番号）：特開2000-213914
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 対象物が定められた角度になくて傾いていても修正できる位置合わせ方法及びこれに使用する装置を提供する。【解決手段】 長方形のスリット4を通した光を試料8に照射させ、試料8に映るスリット像をカメラ6で観察する。カメラ6に映るスリット像が予め決められた形状(スリット4と相似形の長方形)となるように試料ステージ9の傾きを変えることにより、試料8を入射光の光軸11に対して垂直とする。次いで、カメラ6に映るスリット像が予め決められた大きさとなるように試料ステージ9を光軸11方向に移動させることにより、試料8を光軸11方向に位置合わせする。
請求項（抜粋）：
スリットを通した光を、対象物に照射させ、この対象物に映るスリット像を、撮像手段で観察し、この撮像手段に映るスリット像が予め決められた形状となるように対象物の傾きを変えることにより、対象物を入射光の光軸に対して垂直とし、次いで、撮像手段に映るスリット像が予め決められた大きさとなるように対象物を光軸方向に移動させることにより、対象物を光軸方向に位置合わせすることを特徴とする位置合わせ方法。
Fターム (12件)：
2F065AA01
, 2F065AA31
, 2F065AA54
, 2F065DD00
, 2F065FF43
, 2F065GG04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ16
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL28
, 2F065LL37
