特許
J-GLOBAL ID：200903080416870160
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-216620
公開番号（公開出願番号）：特開平7-060637
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：
【要約】【目的】 研磨装置において、熱応力、荷重応力等による被研磨体への不均一荷重を制御可能にし、被研磨体の高平坦度研磨加工を実現することを目的とする。【構成】 マウントヘッド3の下部に、加圧力を独立に調整できる複数のアクチュエータ7を設置し、この加圧アクチュエータ7を介して、被研磨体5を保持しているマウントプレート2を押圧するようにしたものである。
請求項（抜粋）：
被研磨体と研磨布間の相対的摺擦運動を利用して被研磨体の表面研磨を行う研磨装置において、被研磨体を保持し、被研磨体に加工圧力を伝達するマウントプレートに、複数箇所で独立に加圧調整可能なアクチュエーターを設置したことを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
