顕微鏡用焦点検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-001655
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189849
出願日： 1996年01月09日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、周辺システムに対する焦点検出手段での合焦精度を保証する光像の波長域の制限を大幅に拡大できる顕微鏡用焦点検出装置を提供する。【解決手段】透過用光源3または落射用光源4により照明される試料Sの光像の一部を対物レンズ5より結合レンズ102を有する結像光学系によりイメージセンサ103上に投影して試料像の光強度分布に対応する出力信号を得るとともに、この出力信号をアナログ信号処理回路11、評価関数演算器12により所定の評価関数に従って演算処理し、ここで得られる合焦度評価値に基づいて試料Sに対する結像光学系の焦点状態を検出するようにした焦点検出器10に対し、この焦点検出器10と異なる結像光学系を有する周辺システムとして写真システム9を設けていて、この写真システム9に対する焦点検出器10での光路長を同焦調整ユニット101の平行平板プリズム20を移動させることで変化させる。

請求項（抜粋）：

標本の観察光像を受光手段に結像する結像光学系を有し前記受光手段の出力に対する合焦度評価値に基づいて前記標本に対する前記結像光学系の焦点状態を検出する焦点検出手段と、この焦点検出手段の結像光学系と異なる結合光学系を有する周辺システムと、この周辺システムに対する前記焦点検出手段の光路長あるいは色収差補正量を決定する手段とを具備したことを特徴とする顕微鏡用焦点検出装置。

IPC (3件)：

G02B 7/28 , G02B 21/36 , G03B 13/36

FI (4件)：

G02B 7/11 J , G02B 21/36 , G02B 7/11 N , G03B 3/00 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭60-100114
特開昭57-154224
特開昭58-086504

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審査官引用 (2件)

特開昭60-100114
特開昭57-154224

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