PECVDキャッピングモジュールを含む低誘電率誘電体処理のための方法及び一体型装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-035825
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033314
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】基板上に低誘電率膜及び低誘電率キャッピング層を処理するための方法及び装置を提供する。【解決手段】低誘電率膜は、界面活性剤を含むゾルゲル前駆物質を処理しそして硬化することにより均一な直径の内部連通孔を有する酸化物膜を形成し、次いで、中多孔性酸化物膜を形成するためにその膜を不活性ガス環境でアニーリングする又はその膜を活性酸素種を含む酸化環境にさらすこよにより形成される中間多孔性酸化物膜である。好ましい中多孔性酸化物膜は、アルコールベースの溶剤中にテトラエチルオルトシリケート、水及び界面活性剤を含むゾルゲル前駆物質の基板上へのスピン・オン処理、立方相膜を形成するための処理されたゾルゲル前駆物質の硬化、次いで、その膜を酸化環境にさらすことによって作る。

請求項（抜粋）：

(a)1又はそれ以上の移送チャンバ;(b)該1又はそれ以上の移送チャンバの各々の中に配置された基板操作部材;(c)1又はそれ以上の加工チャンバであって、各加工チャンバは少なくとも一つの分離された加工領域をその中に規定し、かつ、各加工領域は該1又はそれ以上の移送チャンバと連結されている、前記加工チャンバ;(d)該1又はそれ以上の移送チャンバと連通している1又はそれ以上のロードロックチャンバ;及び(e)該1又はそれ以上の移送チャンバと連通している1又はそれ以上の複数スロット基板予備加熱モジュール;を含む、基板を加工するための装置。

IPC (8件)：

H01L 21/31 , C23C 16/44 , H01L 21/316 , B05C 9/12 , B05C 11/08 , B05D 1/40 , B05D 3/04 , B05D 7/24 302

FI (8件)：

H01L 21/31 A , C23C 16/44 F , H01L 21/316 M , B05C 9/12 , B05C 11/08 , B05D 1/40 A , B05D 3/04 C , B05D 7/24 302 Y

Fターム (90件)：

4D075AC64 , 4D075AC73 , 4D075AC74 , 4D075AC79 , 4D075AE03 , 4D075BB18Y , 4D075BB18Z , 4D075BB23Z , 4D075BB26Y , 4D075BB44Z , 4D075BB49Z , 4D075BB52Z , 4D075BB56Z , 4D075BB70Z , 4D075BB85Z , 4D075BB93Y , 4D075BB93Z , 4D075BB95Y , 4D075BB95Z , 4D075CA23 , 4D075CA36 , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4D075EA12 , 4D075EB42 , 4D075EB43 , 4D075EB47 , 4D075EC30 , 4D075EC35 , 4D075EC37 , 4F042AA02 , 4F042AA07 , 4F042AA10 , 4F042DA05 , 4F042DA09 , 4F042DB04 , 4F042DB51 , 4F042DC01 , 4F042DC03 , 4F042DF09 , 4F042DF25 , 4F042DF29 , 4F042EB02 , 4F042EB09 , 4F042EB21 , 4F042EB30 , 4K030DA08 , 4K030EA01 , 4K030GA12 , 4K030HA03 , 4K030KA01 , 4K030KA26 , 4K030LA15 , 5F045AA08 , 5F045AB32 , 5F045AB33 , 5F045AC11 , 5F045DC63 , 5F045DQ17 , 5F045EB08 , 5F045EB13 , 5F045EB20 , 5F045EF05 , 5F045EH05 , 5F045EH18 , 5F045EH19 , 5F045EJ02 , 5F045EK07 , 5F045EM04 , 5F045EM05 , 5F045EN04 , 5F045GB16 , 5F045HA16 , 5F058BA20 , 5F058BD01 , 5F058BD04 , 5F058BD10 , 5F058BD15 , 5F058BD18 , 5F058BF07 , 5F058BF25 , 5F058BF29 , 5F058BF46 , 5F058BG01 , 5F058BG04 , 5F058BG10 , 5F058BH02 , 5F058BH03

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