熱圧着用ヘッド及びこれを備えた熱圧着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-077892
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277893
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】熱圧着用ヘッドの温度分布を平坦化することによって加熱不良を低減するとともに、加圧面の平坦度も向上させることによって加圧不良を低減し、熱圧着作用の均一性を得ることのできる熱圧着装置の構造を提供する。【解決手段】熱圧着ヘッド40は加熱領域41A〜41Gを備えたヒートブロック41を備える。中央領域群41Xはヒートブロック41の中央にある隣接する3つの加熱領域41C,41D,41Eからなり、端部領域群41Y,41Zはそれぞれ2つの加熱領域41A,41B又は41F,41Gから構成されている。中央領域群41X及び端部領域群41Y,41Z内の温度センサ43の検出信号は温度制御回路51B,51D,51Fに入力される。温度制御回路51B,51D,51Fから出力された制御信号は切り換え回路52によってヒータ駆動回路53A〜53Gに出力される。

請求項（抜粋）：

加熱しながら加圧するための熱圧着部と、該熱圧着部に対して熱を供給するために設けられた複数の加熱領域と、該加熱領域毎に配置された複数のヒータと、前記加熱領域のうちの少なくとも一部の複数の前記加熱領域の温度をそれぞれ検出可能な複数の温度センサとを有することを特徴とする熱圧着用ヘッド。

IPC (2件)：

H05K 3/32 , H01L 21/60 311

FI (2件)：

H05K 3/32 B , H01L 21/60 311 T

Fターム (9件)：

5E319AA03 , 5E319AB05 , 5E319BB16 , 5E319CC61 , 5E319CD51 , 5F044KK01 , 5F044LL09 , 5F044PP16 , 5F044PP19

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