特許
J-GLOBAL ID：200903080441581644

収差測定機

発明者：
馬込 伸貴

馬込 伸貴 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353755
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164655
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 レンズの収差を正確に測定する。【構成】 透過型位相格子3と、ミラー1と、透過型位相格子3をミラー1側に照明する照明系5,7,8,9と、透過型位相格子3からミラー1に向いミラー1で反射された後に透過型位相格子3を経て戻された照明光を光電変換する受光素子10と、透過型位相格子3をミラー1の方向に前後に移動させる検出部4とを有する。ミラー1と透過型位相格子3との間に被検レンズ2を配置して、透過型位相格子3を被検レンズ2の光軸に平行に走査する。
請求項（抜粋）：
透過型位相格子と、反射鏡と、前記透過型位相格子を前記反射鏡側に照明する照明系と、前記透過型位相格子から前記反射鏡に向かい前記反射鏡で反射された後に前記透過型位相格子を経て戻された照明光を光電変換する受光素子と、前記透過型位相格子と前記反射鏡との間隔を変える移動手段とを有し、収差測定時に、前記透過型位相格子と前記反射鏡との間に被検レンズを配置し、前記透過型位相格子又は前記反射鏡を前記被検レンズの光軸に平行な方向に走査するようにした事を特徴とする収差測定機。
IPC (2件)：
G01M 11/02 ,  G01M 11/00
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開平3-134538
  • 特開昭62-111203
  • 特公昭46-023655
審査官引用 (15件)
  • 特開平3-134538
  • 特開平3-134538
  • 特開平3-134538
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