アクティブ振動絶縁装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：守谷一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-104723
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302640
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】制御対象物の水平方向の共振を抑制して振動絶縁性能を向上する。【構成】架台11に搭載した空気バネ12により制御対象物13を支持し、制御対象物の振動及び(又は)変位を検出して空気バネをアクティブ制御して制御対象物の垂直方向の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置において、架台と制御対象物との間に制御対象物の水平方向の共振を抑制するダンパー24を介在したものである。【効果】3自由度の空圧制御をかけ、Z軸方向のみアクティブ空圧制御を加えて制御対象物の垂直方向の振動を絶縁することができ、かつダンパーにより制御対象物の水平方向の共振は抑制され振動絶縁性能を大幅に高めることができる。

請求項（抜粋）：

架台に搭載した空気バネにより制御対象物を支持し、前記制御対象物の振動及び(又は)変位を検出して前記空気バネをアクティブ制御して前記制御対象物の垂直方向の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置において、前記架台と前記制御対象物との間に前記制御対象物の水平方向の共振を抑制するダンパーを介在したことを特徴とするアクティブ振動絶縁装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-271460
特開昭61-010133
特開平3-271460

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