特許
J-GLOBAL ID：200903080443877630
真空吸着装置とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-152447
公開番号（公開出願番号）：特開平8-019927
出願日： 1994年07月04日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【構成】多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支持部とを備えた真空吸着装置の吸着板全体を同一組成のセラミックスにより形成し、吸着部をなす多孔質部と、該多孔質部を囲繞する支持部をなす緻密質部とを一体的に形成する。また、その製造方法は同一組成のセラミック粉末に対し、焼成時に燃えてなくなる焼失材を添加混合し、各セラミック原料を型内の所定位置にそれぞれ充填したあと成形し、しかるのちセラミック粉末を焼結させる温度にて焼成する。【効果】多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支持部を備えた真空吸着装置の吸着板において、全体的にどの部分をとっても同程度の硬度を備え、且つ機械的強度、耐薬品性、及び耐熱性に優れたものとするとともに、上記吸着板を効率的に製造できる。
請求項（抜粋）：
多孔質部からなる吸着部と緻密質部からなる支持部とを備える吸着板を具備した真空吸着装置であって、該吸着板を構成する多孔質部と、該多孔質部を囲繞する緻密質部とを共に同一組成のセラミックスにより一体的に形成してなる真空吸着装置。
IPC (3件)：
B23Q 3/08
, B24B 41/06
, H01L 21/68
