特許

J-GLOBAL ID：200903080462218442

半導体型燃焼圧センサ

発明者： 鈴木 清光 ,  三木 政之 ,  嶋田 智 ,  松本 昌大 ,  小町谷 昌宏
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338508
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178597
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】自動車エンジンの高度な燃焼制御システムに適用可能な燃焼圧センサとそのセンシングシステムを提供すること。【解決手段】第1のシリコン板,熱酸化膜,第2のシリコン板の3層積層構造よりなるSOI基板を用いたもので、第1のシリコン板に印加された圧力や力から燃焼圧を検出する。

請求項（抜粋）：

第1のシリコン板,熱酸化膜,第2のシリコン板の3層積層構造よりなるSOI基板と、前記第2のシリコン板の一部をエッチング加工して形成した歪みゲージ部と、前記歪みゲージ部を密封するように前記第2のシリコン板に接合したリード引き出し機能付きの絶縁基板とから構成され、前記第1のシリコン板に印加された圧力または力から燃焼圧を検出することを特徴とする半導体型燃焼圧センサ。

IPC (3件)：

G01L 23/18 ,  F02D 35/00 368 ,  G01L 9/04 101

FI (3件)：

G01L 23/18 ,  F02D 35/00 368 Z ,  G01L 9/04 101