特許

J-GLOBAL ID：200903080466756554

スライド装置

発明者： 岩本 憲市 ,  小池 孝誌 ,  石田 敏治
出願人/特許権者： エヌティエヌ株式会社
代理人 (1件)： 江原 省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357946
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183672
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 リニアモータを駆動源とすることなく、大きな推進力を得ることができる安価でコンパクトなスライド装置を提供することにある。【解決手段】 固定ベース11に対してスライド可能に設けた可動テーブル12と、可動テーブル12の内部空間17を二つの圧力室22,23に分割する仕切り部24を有するガイドバー13と、可動テーブル12内の二つの圧力室22,23を選択的に圧力調整して両圧力室22,23の圧力差により可動テーブル12を移動させるエア給排気手段14の一部であるエア通路25a,26a,25b,26bとからなり、ガイドバー13を可動テーブル12の中央部に嵌挿させて固定ベース11に架設する。

請求項（抜粋）：

固定ベースに対してスライド可能に設けた可動テーブルと、前記可動テーブルの内部空間を二つの圧力室に分割する仕切り部を有するガイドバーと、前記可動テーブル内の二つの圧力室を選択的に圧力調整して両圧力室の圧力差により可動テーブルを移動させるエア給排気手段とからなり、前記ガイドバーを前記可動テーブルの中央部に嵌挿させて前記固定ベースに架設したことを特徴とするスライド装置。

IPC (5件)：

G12B 5/00 ,  B23Q 1/30 ,  B23Q 1/38 ,  F16C 32/06 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G12B 5/00 T ,  B23Q 1/30 ,  F16C 32/06 A ,  H01L 21/68 A ,  B23Q 1/26 E